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晶圓表面用二氧化硅
納米二氧化硅?尺寸標(biāo)準(zhǔn)
MSP Corporation 的 NanoSilica?Size Standards 是 SiO2顆粒的濃縮水懸浮液，具有高度均勻的尺寸分布。
這些粒徑標(biāo)準(zhǔn)目前提供的標(biāo)稱尺寸范圍為 15 至 200 nm，非常適合為下一代晶圓和光掩模檢測系統(tǒng)生產(chǎn)高質(zhì)量校準(zhǔn)標(biāo)準(zhǔn)。
雖然 MSP 23000NPT 系列和 2300G3 系列粒子沉積系統(tǒng)為表面缺陷校準(zhǔn)標(biāo)準(zhǔn)的生產(chǎn)提供了*佳結(jié)果，但較舊的 MSP 系統(tǒng)和其他制造商的系統(tǒng)也適用于納米二氧化硅尺寸標(biāo)準(zhǔn)。
特征
+ 極其均勻的尺寸分布
我們的納米二氧化硅尺寸標(biāo)準(zhǔn)采用獲得磚利的 SiO2合成工藝開發(fā)，其尺寸分布比市售的 PSL 球更窄。
+ 使用 SI *追溯性測量的峰直徑
允許產(chǎn)量提高和計(jì)量小組根據(jù) ISO 9000 標(biāo)準(zhǔn)和 SEMI 指南建立其檢查和缺陷審查方法的*追溯性。
+ 受到強(qiáng)烈 DUV 輻射時(shí)穩(wěn)*
MSP 的 SiO2顆粒在暴露于 DUV 輻射時(shí)不會降解，這與 PSL 球體不同，PSL 球體的尺寸會減小。
+ 易于使用
NanoSilica 顆粒懸浮液在滴管瓶中提供，以便在您的應(yīng)用中混合具有適當(dāng)數(shù)量濃度的懸浮液時(shí)使用方便。
+ 高粒子濃度
一些應(yīng)用需要高濃度。 MSP 的顆粒濃度是業(yè)內(nèi)*高的之一。
+ 輕松辨別模態(tài)（峰值）直徑
+ 避免由于平均和峰值直徑值之間的差異而導(dǎo)致的差異
+ 制備適用于效率相對較高或較低的氣溶膠產(chǎn)生裝置的稀釋懸浮液
+ 為*先進(jìn)的檢測工具創(chuàng)建持久的校準(zhǔn)標(biāo)準(zhǔn)
+ 消耗更少的材料；存錢
+ 隨附校準(zhǔn)和*追溯性證書以及帶有處理和處置說明的**數(shù)據(jù)表 (SDS)
|
型號 |
目錄編號 |
標(biāo)稱粒徑 [nm] |
認(rèn)證1峰值直徑 [nm] |
大約 Size Dist. Width, RFWHM2
|
|
1044 |
NS-0015A |
15 |
14-16 |
13% |
|
1046 |
NS-0018A |
18 |
17-19 |
12% |
|
1047 |
NS-0020A |
20 |
19-21 |
11% |
|
1048 |
NS-0024A |
24 |
23-25 |
10% |
|
1075 |
NS-0027A |
27 |
26-28 |
9% |
|
1049 |
NS-0030A |
30 |
29-31 |
8% |
|
1079 |
NS-0032A |
32 |
31-33 |
7% |
|
1062 |
NS-0035A |
35 |
34-36 |
7% |
|
1076 |
NS-0037A |
37 |
36-38 |
6% |
|
1051 |
NS-0040A |
40 |
39-41 |
6% |
|
1063 |
NS-0045A |
45 |
44-46 |
5% |
|
1052 |
NS-0050A |
50 |
49-51 |
5% |
|
1077 |
NS-0055A |
55 |
53-57 |
5% |
|
1053 |
NS-0060A |
60 |
58-62 |
4% |
|
1067 |
NS-0064A |
64 |
62-66 |
4% |
|
1054 |
NS-0070A |
70 |
68-72 |
4% |
|
1068 |
NS-0074A |
74 |
72-76 |
4% |
|
1055 |
NS-0080A |
80 |
78-82 |
4% |
|
1069 |
NS-0084A |
84 |
82-86 |
4% |
|
1057 |
NS-0090A |
90 |
88-92 |
4% |
|
1070 |
NS-0094A |
94 |
92-96 |
4% |
|
1058 |
NS-0100A |
100 |
98-102 |
4% |
|
1071 |
NS-0104A |
104 |
102-106 |
4% |
|
1059 |
NS-0125A |
125 |
120-130 |
4% |
|
1060 |
NS-0150A |
150 |
145-155 |
4% |
|
1061 |
NS-0200A |
200 |
190-210 |
4% |
1給*目錄號的認(rèn)證直徑將在規(guī)*范圍內(nèi)提供。
2相對半高寬（半高全寬）； FWHM 除以模態(tài)直徑。
規(guī)格
|
粒子組成 |
無*形SiO2 |
|
粒子密度 |
1.9 克/厘米3 |
|
折射率 |
633納米時(shí)為1.41英寸 |
|
體積 |
5 毫升 |
|
專注 |
每毫升 1013至 1015顆粒 |
|
截止日期 |
≥ 24 個(gè)月 |
|
添加劑 |
乙醇（按質(zhì)量計(jì) 5-20%） 有機(jī)穩(wěn)*劑（<0.1% 質(zhì)量） |
|
儲存和處理 |
在室溫下儲存（參見校準(zhǔn)和*追溯性證書 更多詳情。 |
*先進(jìn)的半導(dǎo)體檢查技術(shù)已經(jīng)發(fā)展到小于30nm，以往使用Polystyrene latex (PSL)球形化粒子即*做晶圓表面污染/缺陷檢查系統(tǒng)及光罩檢查系統(tǒng)的校正，但新一代的檢查系統(tǒng)使用到Deep ultraviolet (DUV) or Extreme ultraviolet (EUV)才能檢查小于20nm的污染或缺陷，當(dāng)UV光重復(fù)打在PSL球形化粒子上，將影響到PSL球形化粒子的質(zhì)量; 由于SiO2微粒子在DUV及EUV的照射下?lián)碛蟹€(wěn)*的質(zhì)量，因此SiO2微粒子是*佳的替代產(chǎn)品。
NanoSilica? 微粒子標(biāo)準(zhǔn)溶液是使用有磚利的SiO2合成技術(shù)，*以做到如PSL球形化粒子一樣的尺寸分布，從目前*小的微粒子尺寸來看，NanoSilica? 微粒子標(biāo)準(zhǔn)溶液是尺寸*均勻，適合做尺寸大小峰值的量測的工具。
NIST-traceable NanoSilica? 微粒子標(biāo)準(zhǔn)溶液是MSP Corporation透過National Institute of Standards and Technology (NIST)追溯到標(biāo)準(zhǔn)單位的產(chǎn)品，加上ISO 9000與SEMI的認(rèn)證，讓良率提升及表面檢查和缺陷評估有所依據(jù)。
NanoSilica? 微粒子標(biāo)準(zhǔn)溶液使用15-mL滴*，讓使用者操作更方便。每一瓶溶液的卷標(biāo)皆標(biāo)示產(chǎn)品編號、生產(chǎn)編號、微粒子尺寸峰值、尺寸分布半高寬及有效期限，而且提供NIST-traceable證明書與Material Safety Data Sheet (MSDS)說明書。
產(chǎn)品優(yōu)勢
?尺寸大小分布均勻
?NIST traceability 的尺寸大小
?DUV及EUV的照射下?lián)碛蟹€(wěn)*的質(zhì)量
?高濃縮度微粒子懸浮溶液
產(chǎn)品效益
?易于微粒子撒粒系統(tǒng)、晶圓表面污染/缺陷檢查系統(tǒng)或各類分析儀器偵測與量測尺寸峰值
?*避免平均尺寸與尺寸峰值的差異性
?適合氣膠產(chǎn)生設(shè)備使用
?提供耐久校正標(biāo)準(zhǔn)給先進(jìn)的檢測設(shè)備使用
?省錢而且耗用量
